製品情報
| 顕微鏡 |
| 画像処理 |
| CAMERA |
| BOARD |
| LENS |
| 光源 |
| 検査機器 |
| 周辺機器 |
| 精密軸綱手 |
| テスタ |
| Visualizing Multifunctional Thermal Stage |
顕 微 鏡
| TATUKA 測定顕微鏡 |
| Optical Characterization System |
| EDEC LINSY |
| IR MICROSCOPE |
| 33mm 25M MICROSCOPE |
| Wafer Load |
| 測定顕微鏡 |
| 非接触段差測定顕微鏡 詳しい資料はこちら |
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| 鏡体・ブラケット | 全ストローク30mm 微動0.1mm Z 軸測定範囲 １０mm 照明系 同軸落射照明 |
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| 鏡筒 | 三眼タイプ 眼幅調整範囲 53mm～72mm （基準値63 ㎜） 接眼 10 倍接眼 C マウント搭載 直筒タイプ C マウント搭載タイプ |
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| 使用可能対物レンズ | 無限系のニコン製・オリンパス製・ミツトヨ製対物レンズが使用可能 | |
| 結像レンズ | 焦点距離２００mm と１８０mm の２タイプから選択 | |
| フォーカス部 | フォーカスナビマーク付き反射照明ユニット搭載 |
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| 照明部 | ライトガイド及びLED 照明装着可能ユニット | |
| オプション |
Ｒ４（レボルバー）４ヶ穴レボルバー 対物レンズ （無限系f=180 かf=200 の選択） ミツトヨ製対物レンズ使用時＝AHS-MHA-M03B(対物つなぎ) ステージ各種 ポールタイプシンプルスタンド LED 照明かファイバー照明選択可能 インジケーター各種（1μⅿ読みの物） 観察用カメラ各種（推奨品は2/3 ｲﾝﾁCCD カメラ） |
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